本项目基于白光的相干长度很短的特性,开发了高精度的表面形貌测量系统,该系统垂直测量精度可达纳米级精度,横向精度可达亚微米级精度,可满足高精度测量的需要。同时所采用的技术为国际领先技术,作为非接触测量技术在很多领域具有重要应用,与国外Zygo、Veeco等开发的同类产品相比价格可降低一个数量级。
更新时间:2022-05-12
所属领域
装备制造项目类型
制造业项目年份
2022项目状态
可产业化合作方式
合作开发本项目基于白光的相干长度很短的特性,开发了高精度的表面形貌测量系统,该系统垂直测量精度可达纳米级精度,横向精度可达亚微米级精度,可满足高精度测量的需要。同时所采用的技术为国际领先技术,作为非接触测量技术在很多领域具有重要应用,与国外Zygo、Veeco等开发的同类产品相比价格可降低一个数量级。
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