高精度低价位小型白光干涉表面形貌检测系统关键技术

华侨大学机电及自动化学院

更新时间:2022-05-12

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所属领域

装备制造

项目类型

制造业

项目年份

2022

项目状态

可产业化

合作方式

合作开发

项目简介

    本项目基于白光的相干长度很短的特性,开发了高精度的表面形貌测量系统,该系统垂直测量精度可达纳米级精度,横向精度可达亚微米级精度,可满足高精度测量的需要。同时所采用的技术为国际领先技术,作为非接触测量技术在很多领域具有重要应用,与国外Zygo、Veeco等开发的同类产品相比价格可降低一个数量级。


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