本研究采用高增益应变补偿量子阱结构,提升 VCSEL 本身的光增益,提高单元器件出光功率;同时开发 VCSEL 多级串接模块化封装结构,实现 VCSEL 模块低驱动电流下的高功率输出。设计并制备不同单元数量的 VCSEL 列阵,通过表面电极设计及封装工艺优化,减小电流扩散效应及引线电阻,降低 VCSEL 内部电容电感,提高响应速度。采用集成封装和连接技术,实现纳秒脉冲大电流驱动 VCSEL 阵列结构,获得高功率激光输出。采用微电子设计加工技术,实现 VCSEL 激光雷达系统小型化、集成化和轻量化;优化高灵敏度光学天线的结构,有效收集回波的光子;根据激光器的波长设计窄带滤光片,过滤掉背景噪声。
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