复杂光学元件多维度精密测量仪

复旦大学科技成果转化服务中心(福建)

更新时间:2024-09-19

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所属领域

装备制造

项目类型

制造业,信息传输、计算机服务和软件业

项目年份

2024

项目状态

可产业化

合作方式

技术转让,技术入股,合作开发,其它

项目简介

当前复杂结构与自由曲面光学元件在航空航天、遥感探测等领域有广泛的应用,如半球谐振子、离轴三反棱镜、鹰眼透镜等。而其面形精度高达十纳米级,含有薄壁、沟槽等结构特征,一般由透明的硬脆材料构成,目前常用的三坐标测量机、激光干涉仪等方法难以满足要求。本项目将针对复杂光学元件的面形、透镜厚度、几何特征尺寸、形位误差等研制多维度精密测量仪器。

提出光场编码偏折测量技术,以及基于光度立体视觉理论对缺陷引起的光散射效应进行建模,在多视角匹配的三维图像中进行重构。通过快速子孔径测量、多视角全区域测量等技术, 测量复杂结构光学表面,精度达到百纳米以内,可与激光干涉仪相比。

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