我们制备出高性能的氧化镓金属-半导体-金属(MSM)和金属-绝缘体-半导体-绝缘体-金属(MISIM)结构日盲深紫外光电探测器，峰值响应波长在250 nm左右。所制备的MSM结构光电探测器表现出7.5 pA的暗电流、1.31×107的光暗电流比、1.31×1015 Jones的比检测率和 53 A/W的光响应度。同时，在器件性能优化方面，创新性地在金半界面处引入了氮化铝层改善器件性能：利用氮化铝/氧化镓界面工程对载流子传输进行调控，实现了对响应度和响应速度的优化。通过引入3 nm氮化铝层，光电探测器的性能达到了482 A/W 的响应度、2.48×1015 Jones 的比探测率和0.10 s 的下降时间。

应用前景：

日盲深紫外光电探测器具有广泛的应用前景，在环境监测、医疗诊断、光通信、工业制造等多个领域都有重要的应用和推广价值。在环境监测领域可用于监测大气污染物、水质污染、化学气体浓度等方面，具有重要的环境保护和安全监测意义；在医疗诊断上可用于医学影像、生物荧光标记、细胞成像等方面，帮助提升医学诊断的准确性和效率；在光通信上可以用于深紫外光信号的接收和检测，促进光通信技术的发展和应用；在工业制造上可以实现对工件的精准控制和监测，提升工业制造的质量和效率。