基于集成电路制程关键参数的移轴光学检测组件技术及产业化

福建师范大学光电与信息工程学院

更新时间：2023-04-04

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所属领域

装备制造

项目类型

制造业

项目年份

2023

项目状态

可产业化

合作方式

其它

一种基于集成电路制程关键参数的移轴光学检测组件技术，该技术能够在266-825nm波段，观察及监测腔体内不垂直于观察轴的液滴形态、分布、沉积速度等重要的半导体制程参数，并具有长工作距及超短镜头长度及可转折光路等特点，同时拥有低杂光、宽容差、可产业化生产等特性。