28nm 浸没式光刻机的投影物镜需要多个可动机构驱动镜片运动，以补偿波像差和畸变的高阶误差。压电陶瓷作为一种高分辨率的微位移驱动装置，具有结构紧凑、控制特性好、纳米精度等特点，且在运动过程中不会产生热量，成为物镜补偿机构测试系统中尺蠖式压电陶瓷电机的最佳选择。另一方面，投影物镜的多个可动镜片要实现闭环反馈控制，则需要高精度的位移传感器，该位移传感器要具有亚纳米分辨率、低噪声、高稳定性等特征。然而，我国仅有部分高校研制过压电驱动器原理样机，离实用差距较大，传感器类则不适用与光刻机系统。国外 知名公司（如 PI 和海德汉）该类产品也对国内禁运或停止技术支持。因此，我国亟需突破和开发具有自主知识产权的高频响驱动尺蠖式压电陶瓷电机和高精度位移传感器。

本项目针对上述国家重大专项需求，拟开展高频响亚纳米步长尺蠖式压电陶瓷电机和高精度光栅尺位移传感器的关键技术研究，为解决国外针对该类型尺蠖式压电陶瓷电机和传感器卡脖子问题，实现关键部件的国产化奠定基础。