碳化硅/氮化镓功率器件的研发生产

福建省福芯电子科技有限公司

更新时间:2018-02-20

关注
点赞
咨询

所属领域

新材料

项目类型

制造业

技术水平

其他

合作方式

技术转让,合作开发

项目简介


技术公关难题:

      (1)碳化硅DMOS沟道电子等效迁移率低带来的大电阻问题解决方案,采用ACCUFET的结构设计的具体方案。特点是用p 隐埋层在栅氧化层下的n-表面产生一极薄的耗尽区,隐埋的深度和n-区杂质浓度的配比及其他问题。(2)碳化硅掺杂工艺的实现,离子注入和材料制备过程中的伴随掺杂实现的具体方案。(3)GaN常关型器件,P型GaN门极的具体解决方案。(4)GaN器件耐压超过450V后产生的电流崩塌效应解决方案(电子停留在内部使得电流下降)。


      备注:并称为第三代半导体材料双雄的氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)相对于硅材料有很多优点:有10倍的电场强度,高3倍的热导率,宽3倍禁带宽度,高一倍的饱和漂移速度。这些优点使得氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)器件高温、高频工作特性好及更加小型化。SiC/GaN  MOSFET是在2010之后开始商用,目前被国外著名半导体商垄断,主要产家有美国科瑞、德国英飞凌、日本罗姆等世界知名半导体公司。目前SIC/GaN功率器件市场约1亿美元左右,而硅基材料的功率器件市场高达100亿美元,未来成长空间巨大。

推荐项目

查看更多

推荐专家

查看更多